生物荧光激

vzeucvprjfe · Wysłany: Czw 11:33, 31 Mar 2011

生物荧光激发滤光片及栅滤光片的研制
一mI)／(T2一T1)=(2一，)／(T2一T3)．上式整理后可得：lm2(T3一T1)+ml(T2一T3)lm3I一――__■――1m3即是镀制0．75L所走的格值数．实践证明，按(9)式计算的格值来监控1．75L是正确的．在准确监控1．75L层的基础上，对金属Ag屡的监控是十分重要的．因为它将直接影响到通带的峰值透过率和截止区的截止深度，按论计算，Ag层的正确厚度是60nm，为了较准确监控该厚度．将制备双半渡滤光片透射光监控的指针变化规律运用到Ag层厚度的监控．此规律是：镀完第一个1．75L间隔层后，紧接着蒸镀银层，随着银层厚度的增加，福建师范大学学报(自然科学版)1995年12月透过率开始略有下降，再逐渐增大到极值。然后又单调下降，当透过率降至比起始值略低时，A层厚度接近正确值．实践证明，采用这种方法来监控Ag层的厚度既方便又可靠．但有一必备的条件是第一个1．75L监控要十分准确，否则，Ag层蒸镀时指针格值的就不会按上面规律变化．第二个1．75L间隔层的监控比较简单，由于Ag层的反射相移已包含在间隔层的厚度变化中，所以只要监控表头走二个极值．这时实际的碍度即为1．75L．3．3制备工艺的要求(1)基片温度的控制：除银层之外．其它各层蒸镀时基片温度应达到200"C，这样方可保证ZrO2：Ta2O5混合料的折射率达到2．1．蒸镀银层时，为了减少吸收。不对基片进行烘烤，采用冷基底．(2)蒸发速率的控制：对高折射率材料zro2：Ta2混合料，蒸发速率的控制将直接影响到折射率的大小，通过多次实践．反复比较，认为对于高折射率层的蒸发速率应为10～l5A5-。，而低折射率层蒸发速率应为9～lOOAs-。．而对于银层则要求材料要彻底预熔，快速蒸发，60nm的Ag层蒸发时间应控制在7～lOs之间，快速蒸镀A-g层，使其结构十分致密，吸收小反射率高．(3)对材料的处理：对高折射率材料ZrOz：Ta205，蒸镀之前需进行热处理，将材料放在茂福炉中用500'C～600"C高温烘烤_4～8h．这处理的好处在于：一是在蒸发过程中放气少，可以保证维持所需要的真空度；二是使材料的折射率比较稳定．
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